對(duì)測(cè)量?jī)x精度評(píng)定或?qū)嵤┱`差修正，要以坐標(biāo)測(cè)量機(jī)固有誤差的模型為基礎(chǔ)，其中，必須給出各誤差項(xiàng)的定義，分析，傳遞及誤差合成后的總誤差。所謂的總誤差，在測(cè)量?jī)x的精度檢定中，是指反映坐標(biāo)測(cè)量機(jī)精度特性的綜合誤差，即指示精度，重復(fù)精度等：在測(cè)量?jī)x的誤差修正技術(shù)中，則是指空間點(diǎn)的矢量誤差。

　　

　　一、機(jī)構(gòu)誤差分析：

　　

　　測(cè)量?jī)x的機(jī)構(gòu)特征，導(dǎo)軌對(duì)被它引導(dǎo)的部件限制五個(gè)自由度，測(cè)量系統(tǒng)控制運(yùn)動(dòng)方向上的第六個(gè)自由度，因此導(dǎo)向部件在空間的位置，由導(dǎo)軌及其所屬的測(cè)量系統(tǒng)確定。

　　

　　二、測(cè)頭誤差分析：

　　

　　三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x的測(cè)頭分為兩種：接觸式測(cè)頭按其結(jié)構(gòu)又分為開(kāi)關(guān)式和掃描式兩大類(lèi)。開(kāi)關(guān)式測(cè)頭的誤差由開(kāi)關(guān)行程，測(cè)頭各向異性，開(kāi)關(guān)行程分散性，復(fù)位死區(qū)等引起。掃描式測(cè)頭的誤差由測(cè)力一位移關(guān)系，位移一位移關(guān)系，交叉耦合干擾等引起。

　　

　　測(cè)頭的開(kāi)關(guān)行程為測(cè)頭與工件接觸至測(cè)頭發(fā)訊，測(cè)頭所偏擺的一段距離。這是測(cè)頭的系統(tǒng)誤差。測(cè)頭的各向異性是開(kāi)關(guān)行程在各個(gè)方向上的不一致性。它是系統(tǒng)誤差，但通常作隨機(jī)誤差處理。開(kāi)關(guān)行程的分解性指重復(fù)測(cè)量時(shí)開(kāi)關(guān)行程的離散程度。實(shí)際測(cè)量時(shí)，以某一方向開(kāi)關(guān)行程的標(biāo)準(zhǔn)偏差計(jì)算。